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发明名称
SEMICONDUCTOR UNIT
摘要
申请公布号
JPS52109868(A)
申请公布日期
1977.09.14
申请号
JP19760026171
申请日期
1976.03.12
申请人
HITACHI LTD
发明人
TOIDA HIROTOSHI;TAKITA JIYUNICHI
分类号
H01L21/52;H01L23/48
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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