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发明名称 APPARATUS FOR GENERATING PLASMA
摘要
申请公布号 JPS52109451(A) 申请公布日期 1977.09.13
申请号 JP19760025627 申请日期 1976.03.11
申请人 KOIDE AKIMICHI 发明人 KOIDE AKIMICHI
分类号 H05H1/34;B23K9/00;B23K10/00;H05H1/26 主分类号 H05H1/34
代理机构 代理人
主权项
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