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发明名称
摘要
申请公布号	JPS52120544(U)	申请公布日期	1977.09.13
申请号	JP19760025427U	申请日期	1976.03.05
申请人		发明人
分类号	H01L21/673;H01L21/265;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/265	主分类号	H01L21/673
代理机构		代理人
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