| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS52109371(A) |
申请公布日期 |
1977.09.13 |
| 申请号 |
JP19760025150 |
申请日期 |
1976.03.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAMAOKI YOUICHI;ISOMAE SEIICHI;KOGIRIMA MASAHIKO;SHINTANI AKIRA;MAKI MICHIYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/22;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
