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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52109369(A) 申请公布日期 1977.09.13
申请号 JP19760025153 申请日期 1976.03.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAMURA AKIO;SUEHIRO NAOJI;KASHIYUU NOBUYOSHI
分类号 H01L21/265;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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