| 发明名称 |
MICROSCOPIC FIGURE COPY UNIT |
| 摘要 |
PURPOSE:To copy the microscopic figure by perfoming X-rays lithography eith using monochrometer effectively. |
| 申请公布号 |
JPS52107774(A) |
申请公布日期 |
1977.09.09 |
| 申请号 |
JP19760024755 |
申请日期 |
1976.03.08 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
TAKASU SHINICHIROU;KOTAKE SHIYUUSUKE;WADA TETSUNORI |
| 分类号 |
H01L21/027;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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