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发明名称 FILM THICKNESS MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 JPS52107857(A) 申请公布日期 1977.09.09
申请号 JP19760023316 申请日期 1976.03.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 HONDA MASAO;SUNAMI HIDEO;HASHIMOTO TETSUICHI
分类号 G01B11/06;G01B9/02 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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