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发明名称 ETCHING OF SILICON DEVICES
摘要
申请公布号 GB1485063(A) 申请公布日期 1977.09.08
申请号 GB19750004711 申请日期 1975.02.04
申请人 STANDARD TELEPHONES & CABLES LTD 发明人
分类号 H01L21/3065;(IPC1-7):B28D5/06 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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