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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUMTETRAFLUORID
摘要
申请公布号
DE2132427(B2)
申请公布日期
1977.09.08
申请号
DE19712132427
申请日期
1971.06.30
申请人
发明人
分类号
C01B33/08;(IPC1-7):C01B33/08
主分类号
C01B33/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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