发明名称 METHOD OF MEASURING DONER CONTENT OF HIGHHPURITY POLYCRYSTAL SILICON FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS52106670(A) 申请公布日期 1977.09.07
申请号 JP19770023287 申请日期 1977.03.03
申请人 WACKER CHEMITRONIC 发明人 DEIITORITSUHI SHIYUMITSUTO;KAARU ERUBUIN FUUBERU;YOHAN HOOFUAA
分类号 H01L21/66;C30B13/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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