| 发明名称 |
BLACK-BODY WAFER SUPPORT FIXTURE FOR EXPOSURE OF PHOTORESIST |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4046474(A) |
申请公布日期 |
1977.09.06 |
| 申请号 |
US19750632736 |
申请日期 |
1975.11.17 |
| 申请人 |
ROCKWELL INTERNATIONAL CORPORATION |
发明人 |
LEE, SOO N. |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):G03B27/52;G03B27/32;G03B27/04 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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