发明名称 METHOD FOR PREPARING LARGE SINGLE CRYSTAL THIN FILMS
摘要
申请公布号 US4046618(A) 申请公布日期 1977.09.06
申请号 US19750553194 申请日期 1975.02.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHAUDHARI, PRAVEEN;CUOMO, JEROME JOHN;MATTHEWS, JOHN WAUCHOPE
分类号 C30B1/02;C30B33/00;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/36;(IPC1-7):B01J17/08 主分类号 C30B1/02
代理机构 代理人
主权项
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