发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR IC
摘要
申请公布号 JPS52106279(A) 申请公布日期 1977.09.06
申请号 JP19760022263 申请日期 1976.03.03
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 INO MASAYOSHI;MIZOUE HIROO
分类号 H01L21/822;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/70;H01L21/82;H01L21/8238;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/092;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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