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经营范围
发明名称
SCANNING TYPE ELECTRONIC MICROSCOPE AND ITS METHOD
摘要
申请公布号
JPS52106268(A)
申请公布日期
1977.09.06
申请号
JP19760022156
申请日期
1976.03.03
申请人
HITACHI LTD
发明人
NAGATANI TAKASHI
分类号
H01J37/28
主分类号
H01J37/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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