发明名称 SCANNING TYPE ELECTRONIC MICROSCOPE AND ITS METHOD
摘要
申请公布号 JPS52106268(A) 申请公布日期 1977.09.06
申请号 JP19760022156 申请日期 1976.03.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAGATANI TAKASHI
分类号 H01J37/28 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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