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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52104068(A) 申请公布日期 1977.09.01
申请号 JP19760020004 申请日期 1976.02.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 KIKUCHI AKIRA
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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