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VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SUPRALEITFAEHIGEN NB TIEF 3 SN-SCHICHT AUF EINER NIOBOBERFLAECHE FUER HOCHFREQUENZANWENDUNGEN
摘要
申请公布号
DE2608089(A1)
申请公布日期
1977.09.01
申请号
DE19762608089
申请日期
1976.02.27
申请人
SIEMENS AG
发明人
MARTENS,HANS
分类号
C22F1/00;C23C14/02;C23C14/14;C23C14/16;C23C14/58;C25D11/26;H01L39/12;H01L39/24;(IPC1-7):23F17/00
主分类号
C22F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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