发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SUPRALEITFAEHIGEN NB TIEF 3 SN-SCHICHT AUF EINER NIOBOBERFLAECHE FUER HOCHFREQUENZANWENDUNGEN
摘要
申请公布号 DE2608089(A1) 申请公布日期 1977.09.01
申请号 DE19762608089 申请日期 1976.02.27
申请人 SIEMENS AG 发明人 MARTENS,HANS
分类号 C22F1/00;C23C14/02;C23C14/14;C23C14/16;C23C14/58;C25D11/26;H01L39/12;H01L39/24;(IPC1-7):23F17/00 主分类号 C22F1/00
代理机构 代理人
主权项
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