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发明名称 CONTROL METHOD FOR CRYSTAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS52104474(A) 申请公布日期 1977.09.01
申请号 JP19760021422 申请日期 1976.02.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATOU TOORU;INUI JIYUNJI
分类号 H01L21/208;C30B15/28 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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