发明名称 METAL SEALING
摘要 PURPOSE:To provide a good metal sealing ny coating a semiconductor base with a multi-layer metal evaporation film and applying heat of 350 - 470 deg.C to provide mutual propagation in the metal evaporation film and to thus break the interlayer insulation film.
申请公布号 JPS52104085(A) 申请公布日期 1977.09.01
申请号 JP19760019969 申请日期 1976.02.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIYAMOTO NORIMASA
分类号 B23K20/24;C23C14/16;C23C14/58;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 B23K20/24
代理机构 代理人
主权项
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