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发明名称
SEMICONDUCTOR UNIT
摘要
申请公布号
JPS52104077(A)
申请公布日期
1977.09.01
申请号
JP19760020002
申请日期
1976.02.27
申请人
HITACHI LTD
发明人
WADA YASUO;SATOU KIKUJI
分类号
H01L29/78;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/06
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
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