| 发明名称 |
DEFLECTION UNIT FOR CHARGED PARTICLE RAY EXPOSURE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52103966(A) |
申请公布日期 |
1977.08.31 |
| 申请号 |
JP19760020275 |
申请日期 |
1976.02.26 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRON OPTICS LAB |
发明人 |
TANAKA KAZUMITSU |
| 分类号 |
H01J37/147;H01J37/305;H01L21/02;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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