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发明名称
摘要
申请公布号 JPS52114664(U) 申请公布日期 1977.08.31
申请号 JP19760021935U 申请日期 1976.02.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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