| 发明名称 |
BOAT FOR EVAPORATION BY RESISTANCE HEATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52102681(A) |
申请公布日期 |
1977.08.29 |
| 申请号 |
JP19760018959 |
申请日期 |
1976.02.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HORI YASUMITSU;NAGASAKI TAKAO;TOMOSAWA AKIHIRO;NAKAMURA AKIYUKI;NARUSHIMA MASACHIKA |
| 分类号 |
C23C14/26;C23C14/24;H01L21/285;H01L21/48 |
主分类号 |
C23C14/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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