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发明名称
PREPARATION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPS52102692(A)
申请公布日期
1977.08.29
申请号
JP19760019329
申请日期
1976.02.24
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
YAMANAKA YOUJI;WADA TOSHIO
分类号
H01L21/3213;H01L21/28
主分类号
H01L21/3213
代理机构
代理人
主权项
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