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经营范围
发明名称
SOAKING TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS52102683(A)
申请公布日期
1977.08.29
申请号
JP19760018970
申请日期
1976.02.25
申请人
HITACHI LTD
发明人
ABE YOSHIO;AZUMA KENJI;KAWAI KENICHI;SANO KOUHEI
分类号
H01L21/306;H01L21/48;H01L23/48
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
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