发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM MACHINING METHOD AND DEVICE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS52101798(A) |
申请公布日期 |
1977.08.26 |
申请号 |
JP19760018681 |
申请日期 |
1976.02.23 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TANO MASAHIRO;MANABE MASARU;YABUNAKA FUMIHARU |
分类号 |
H01J37/30;B23K15/00;B23K15/02;H01J37/315 |
主分类号 |
H01J37/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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