发明名称 |
PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE ON INSULATING SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS52101978(A) |
申请公布日期 |
1977.08.26 |
申请号 |
JP19760017910 |
申请日期 |
1976.02.23 |
申请人 |
KOGYO GIJUTSUIN |
发明人 |
SUGINO EITAROU;TANGO KOUSUKE;NISHI YOSHIO;MAEGUCHI KENJI;KIMURA MINORU |
分类号 |
H01L27/12;H01L21/76;H01L21/84;H01L21/86 |
主分类号 |
H01L27/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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