发明名称 PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE ON INSULATING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS52101978(A) 申请公布日期 1977.08.26
申请号 JP19760017910 申请日期 1976.02.23
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 SUGINO EITAROU;TANGO KOUSUKE;NISHI YOSHIO;MAEGUCHI KENJI;KIMURA MINORU
分类号 H01L27/12;H01L21/76;H01L21/84;H01L21/86 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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