发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要 <p>PURPOSE:To make an aperture of CDV oxidation film with good yielding on an element in IC formed on an insulated substrate.</p>
申请公布号 JPS52101967(A) 申请公布日期 1977.08.26
申请号 JP19760017911 申请日期 1976.02.23
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 KIMURA MINORU;TANGO KOUSUKE;OOMORI YUKIO
分类号 H01L29/78;H01L21/268;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/78;H01L21/86;H01L23/544;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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