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发明名称 FORMING METHOD FOR SMALL SIZE REGIONS
摘要
申请公布号 JPS5299773(A) 申请公布日期 1977.08.22
申请号 JP19760015796 申请日期 1976.02.18
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 HAYASHI YUTAKA
分类号 H01L29/78;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/336;H01L29/76 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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