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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5299065(A) 申请公布日期 1977.08.19
申请号 JP19760015659 申请日期 1976.02.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOYAMA HIROSHI;MATSUKAWA TAKAYUKI;KAWAZU SATORU
分类号 H01L21/322;H01L21/265 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
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