发明名称 ELEKTROSTATISCHER ANALYSATOR FUER GELADENE TEILCHEN
摘要
申请公布号 DE2705430(A1) 申请公布日期 1977.08.18
申请号 DE19772705430 申请日期 1977.02.09
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 USAMI,KATSUHISA;ISHIKAWA,ISAO
分类号 G01Q30/02;H01J49/48;(IPC1-7):G01N23/22;G01N27/62;H01J39/34 主分类号 G01Q30/02
代理机构 代理人
主权项
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