| 发明名称 |
VAPOR PHASE GROWTH UNDER REDUCED PRESSURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5298474(A) |
申请公布日期 |
1977.08.18 |
| 申请号 |
JP19760014029 |
申请日期 |
1976.02.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHINTANI AKIRA;KOGIRIMA MASAHIKO;TAMAOKI YOUICHI;SUZUKI MICHIO;MAKI MICHIYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/20;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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