发明名称 ION SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5297785(A) 申请公布日期 1977.08.16
申请号 JP19760014053 申请日期 1976.02.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 NIINA TOMOJI
分类号 H01J49/10;G01N27/62;H01J49/14;H01J49/16 主分类号 H01J49/10
代理机构 代理人
主权项
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