发明名称 CRYSTAL GROWN UNIT FOR CHEMICAL COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5296865(A) 申请公布日期 1977.08.15
申请号 JP19760011122 申请日期 1976.02.04
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YOSHIDA SEIJI;WATANABE HISATSUNE;SEKI YASUO
分类号 C30B25/12;C30B25/14;C30B29/40;H01L21/20;H01L21/205 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
主权项
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