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发明名称 DIFFUSION FURNACE WITH AUTOMATIC SHUTTER
摘要
申请公布号 JPS5295968(A) 申请公布日期 1977.08.12
申请号 JP19760012259 申请日期 1976.02.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUGIMOTO KINYA
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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