| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR UNIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5295983(A) |
申请公布日期 |
1977.08.12 |
| 申请号 |
JP19760012260 |
申请日期 |
1976.02.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIMURA ISAO;INANIWA KEIZOU |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/283;H01L21/302;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/40;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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