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发明名称 VERFAHREN ZUR BILDUNG EINES SCHMALEN SPALTS BZW. SCHLITZES IN EINER MATERIALSCHICHT
摘要
申请公布号 DE2703013(A1) 申请公布日期 1977.08.11
申请号 DE19772703013 申请日期 1977.01.26
申请人 INTEL CORP. 发明人 T. SIMKO,RICHARD
分类号 H01L29/762;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/339;(IPC1-7):H01L21/31;H01L29/66 主分类号 H01L29/762
代理机构 代理人
主权项
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