发明名称 MEASUREMENT FOR HIGH FREQUENCY CHARACTERISTICS OF TRANSISTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS5295182(A) 申请公布日期 1977.08.10
申请号 JP19760011985 申请日期 1976.02.06
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 YOSHIDA JIYUNICHI
分类号 H01L21/66;G01R1/073;G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址