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发明名称 ELECTRONIC BEAM MASK AND MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPS5295177(A) 申请公布日期 1977.08.10
申请号 JP19760011279 申请日期 1976.02.06
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 TATSUNO KOUICHI;NAKAYAMA SATORU;TAKAMOTO KIICHI;ONO INSEI
分类号 H01L21/027;H01L21/302 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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