发明名称 Etchants for glass films on metal substrates
摘要 An aqueous solution for etching a glass layer on a metal (aluminum) substrate without substantial attack on the metal. The solution comprises buffered hydrofluoric acid, sodium chloride, and either (a) a fluorocarbon surfactant capable of forming a protective thin film upon the aluminum, or (b) a 6-hydroxy alcohol (e.g., mannitol or sorbitol).
申请公布号 US4040897(A) 申请公布日期 1977.08.09
申请号 US19760740546 申请日期 1976.11.10
申请人 SIGNETICS CORPORATION 发明人 BLISH, II, RICHARD C.;LEMONS, KYLE EUGENE
分类号 C03C15/00;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C03C15/00
代理机构 代理人
主权项
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