| 发明名称 |
MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5293276(A) |
申请公布日期 |
1977.08.05 |
| 申请号 |
JP19760009155 |
申请日期 |
1976.01.30 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
SHIMADA TAKASHI;ISHITANI AKIYASU;KAINUMA SHIYOUSAKU;YAMAUCHI KIYOSHI |
| 分类号 |
H01L29/80;H01L21/31;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L29/80 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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