| 发明名称 |
SETT COH ANORDNING FOR FRAMSTELLNING AV HALVLEDARESTRUKTURER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SE7700374(A) |
申请公布日期 |
1977.08.05 |
| 申请号 |
SE19770000374 |
申请日期 |
1977.01.14 |
| 申请人 |
KOMBINAT * VEB FUNKWERK ERFURT |
发明人 |
R * SACHER |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/033;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3115;H01L21/3213;H01L21/3215;(IPC1-7):H01L21/26 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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