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发明名称 VORRICHTUNG ZUM AETZEN EINES WERKSTUECKS UNTER VERWENDUNG EINES PLASMAS
摘要
申请公布号 DE2703659(A1) 申请公布日期 1977.08.04
申请号 DE19772703659 申请日期 1977.01.28
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO.,LTD. 发明人 YAMAMOTO,SHINICHI;SUMITOMO,YASUSUKE;HORIIKE,YASUHIRO;SHIBAGAKI,MASAHIRO
分类号 C23F4/00;H01J37/18;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302;B23K28/00;C23C15/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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