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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER INTEGRIERTEN DUENNFILMANORDNUNG MIT ABGLEICHBAREN WIDERSTAENDEN
摘要
申请公布号 DE2346669(B2) 申请公布日期 1977.08.04
申请号 DE19732346669 申请日期 1973.09.17
申请人 发明人
分类号 H01C17/00;H01L21/70;H05K1/09;H05K1/16;H05K3/06;H05K3/10;H05K3/24;H05K3/34;H05K3/38;(IPC1-7):H01C17/06;H01C7/00 主分类号 H01C17/00
代理机构 代理人
主权项
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