发明名称 Method of etching a surface of a substrate comprising LiTaO{HD 3 {B and chemically similar materials
摘要
申请公布号 USRE29336(E) 申请公布日期 1977.08.02
申请号 US19760751926 申请日期 1976.12.17
申请人 发明人
分类号 C04B41/53;C04B41/91 主分类号 C04B41/53
代理机构 代理人
主权项
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