发明名称 GAS PHASE GROWING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5291648(A) 申请公布日期 1977.08.02
申请号 JP19760007526 申请日期 1976.01.28
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YASUDA YUKIO;MORIYA TAKAHIKO
分类号 H01L21/761;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/31;H01L21/76 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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