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发明名称
INSPECTOR AND ITS INSPECTION METHOD
摘要
申请公布号
JPS5291459(A)
申请公布日期
1977.08.01
申请号
JP19760007822
申请日期
1976.01.27
申请人
HITACHI ELECTRONICS;HITACHI LTD
发明人
KATAKURA KAGENORI;OKABE KAZUO
分类号
G01N29/04;G01N27/00
主分类号
G01N29/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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