发明名称 INSPECTOR AND ITS INSPECTION METHOD
摘要
申请公布号 JPS5291459(A) 申请公布日期 1977.08.01
申请号 JP19760007822 申请日期 1976.01.27
申请人 HITACHI ELECTRONICS;HITACHI LTD 发明人 KATAKURA KAGENORI;OKABE KAZUO
分类号 G01N29/04;G01N27/00 主分类号 G01N29/04
代理机构 代理人
主权项
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