发明名称 Verfahren zum Niederschlagen eines Halbleitermaterials
摘要
申请公布号 DE1924825(A1) 申请公布日期 1969.11.27
申请号 DE19691924825 申请日期 1969.05.16
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC. 发明人 WAYNE SHAW,DON
分类号 C23C16/455;H01L21/00 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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