| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5290278(A) |
申请公布日期 |
1977.07.29 |
| 申请号 |
JP19760007018 |
申请日期 |
1976.01.23 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TOYODA HIROYASU;KATOU TADAO;INABA KIMIKO |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/06;H01L29/417 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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