发明名称 RADIALSTROEMUNGSBEAUFSCHLAGTER REAKTOR ZUM BESCHICHTEN VON WERKSTUECKEN
摘要
申请公布号 DE2702120(A1) 申请公布日期 1977.07.28
申请号 DE19772702120 申请日期 1977.01.20
申请人 WESTERN ELECTRIC CO.,INC. 发明人 BERNARD ALEXANDER,FRANK;DEDUYO CAPIO,CESAR;EMERALD HAUSER,VICTOR;J. LEVINSTEIN,HYMAN;J. MOGAB,CYRIL;KUMAR SINHA,ASHOK;SIEGFRIED WAGNER,RICHARD
分类号 H01L21/205;C23C16/509;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H05H1/00;C23C11/00;C23C11/08;H01L21/56 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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