发明名称 STEREO SCAN TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS5289457(A) 申请公布日期 1977.07.27
申请号 JP19760004933 申请日期 1976.01.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 KASAI SHIYOUZOU
分类号 G01B15/00;H01J37/28 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
主权项
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