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经营范围
发明名称
STEREO SCAN TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPS5289457(A)
申请公布日期
1977.07.27
申请号
JP19760004933
申请日期
1976.01.21
申请人
HITACHI LTD
发明人
KASAI SHIYOUZOU
分类号
G01B15/00;H01J37/28
主分类号
G01B15/00
代理机构
代理人
主权项
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